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SRF系列射頻電源
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SRF系列射頻電源

SRF系列射頻電源采用數模混合控制及高精測量技術，固定頻率輸出，輸出功率具備寬范圍、高精度、高可靠性及高穩定性等特點；標配CEX同步，可選配單級脈沖功能，滿足多種工藝需求，輔助完成更高的工藝穩定性和控制。可廣泛應用于光伏、面板、半導體行業、科研、制造業等領域，適用ETCH、PECVD等工藝設備。

Features

主要特點

?數模混合控制架構
01
?靈活的控制模式配置
02
高精度測量系統
03
快速CEX相位同步
04
?豐富的人機交互接口
05
高可靠性射頻輸出
06
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